組み込み機器・ボード設計・開発実績

半導体業界向け検査装置用制御ボード

お客様の要望・課題

検査装置のステージ制御系の各信号処理を実行する基板を開発した事例です。お客様にご要望をヒアリングした後、下記の仕様にて検討しました。

【基板仕様】
VMEバスアクセス(VMEダブルハイトサイズ)、ステージ位置データの取り込み(指定AXISボードとのインタフェース)、プリセット、補正演算、移動平均化処理、他システムへの補正演算位置データ、エラー情報出力、補正演算位置データのアナログ出力、他システムとの絶縁

当位置処理基板では、各種インタフェースコネクタを設置(2階建て構成とし一部2階基板側へ設置)しています。

FPGAによりVMEアクセスを制御します。FPGAもしくはCPLDによりご要望であった、位置データ取り込み、プリセット、補正演算、補正計数演算(倍精度浮動小数演算)、移動平均化処理(平均化数、サンプリング周期可変)、エラー情報モニタ、クロック付替え出力を実現しています。

また、DACにより補正演算位置データをアナログ出力します。CPLDにより、DACの制御(DIPSWによる選択出力)をします。絶縁バッファ及びフォトカプラを用いて他システムと絶縁を行っています。

組み込みシステム・IoT機器開発.comを運営する山勝電子工業では、組み込みボード・機器の受託設計・開発を行っております。ハードウェア領域はもちろん、ソフトウェア領域についても社内一貫対応しております。組み込みボード・機器の委託先にお困りの方は、お気軽に当社にご相談ください。